序號

檢測氣體

化學式

測量范圍

測量誤差

最小示值

響應時間

0

磷化氫

PH₃

0-20-1000ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤40s

1

氧氣

O₂

0-25.0%

≤±0.5%

0.1%

≤20s

2

可燃氣

Ex

0-100%LEL

≤±5%(F.S)

1%LEL

≤30s

3

一氧化碳

CO

0-2000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30s

4

硫化氫

H₂S

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤40s

5

二氧化氮

NO₂

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

6

一氧化氮

NO

0-1000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30s

7

二氧化硫

SO₂

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

8

氯氣

Cl₂

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤90s

9

氨氣

NH₃

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤150s

10

氫氣

H₂

0-2000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤90s

11

氰化氫

HCN

0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤200s

12

臭氧

O₃

0-1.0-5.0ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤120s

13

氟氣

F₂

0-1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

14

氟化氫

HF

0-10ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60s

15

氯化氫

HCl

0-30-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

16

溴化氫

HBr

0-30ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

17

環氧乙烷

C₂H₄O

0-100ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤90s

18

光氣

COCl₂

0-1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60s

19

硅烷

SiH₄

0-20ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

20

鍺烷

GeH₄

0-2ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60s

21

砷化氫

AsH₃

0-1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

22

二氧化氯

ClO₂

0-1.0-200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤120s

23

四氫化氮

N₂H₄

0-1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30s

24

乙硼烷

B₂H₆

0-0.5ppm

≤±5%(F.S)

0.01ppm

≤30s

25

氫氣

H₂

0-1.0-4.0%

≤±5%(F.S)

0.01%

≤60s

26

氨氣

NH₃

0-1000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30s

2合1

可燃氣

Ex

0-100%LEL

≤±5%(F.S)

1%LEL

≤30s

氧氣

O₂

0-25.0%

≤±0.5%

0.1%

≤20s